Penggunaan gas dalam industri semikonduktor berasal dari awal 1950-an hingga 1960-an.gas terutama digunakan untuk membersihkan dan melindungi bahan semikonduktor untuk memastikan kemurnian dan kualitasnyaDi antara gas yang paling umum digunakan adalah nitrogen dan hidrogen.
Ketika teknologi semikonduktor berkembang dan proses manufaktur terus meningkat, permintaan gas meningkat.penerapan gas dalam proses utama seperti etching dan deposisi film tipis secara bertahap meningkat, dan gas fluorida (misalnya SF6) dan oksigen menjadi umum digunakan etching dan gas deposisi.Tahun 1980 menyaksikan peningkatan permintaan gas dengan pengembangan sirkuit terintegrasi dan peningkatan permintaan untuk merekaHidrogen digunakan secara luas dalam proses manufaktur, termasuk penggilingan hidrogen dan pengendapan uap hidrogen.permintaan gas kemurnian tinggi dan gas spesifik telah meningkat karena ukuran perangkat semikonduktor terus menyusut dan proses baru telah diperkenalkanMisalnya, penerapan litografi ultraviolet ekstrim (EUV) membutuhkan penggunaan gas kemurnian yang sangat tinggi seperti nitrogen dan hidrogen.
Gas semikonduktor terus meningkat dengan pengembangan produk terkait didorong oleh semakin banyak produk yang terungkap, sementara gas juga termasuk sumber bahaya,Jadi produk yang digunakan untuk dekompresi gas, produk deteksi gas dan mencegah produk kebocoran gas telah muncul seperti regulator tekanan, katup gas, pengukur tekanan gas, detektor kebocoran gas, dll, dan peran mereka adalah sebagai berikut:
Pengatur tekanan: Regulator tekanan adalah perangkat yang digunakan untuk mengontrol tekanan gas.Regulator tekanan mengambil gas tekanan tinggi masuk dan menstabilkan tekanan gas keluaran dengan menyesuaikan katup untuk memenuhi persyaratan aplikasi tertentuRegulator tekanan banyak digunakan di bidang seperti industri, manufaktur dan laboratorium, serta di industri semikonduktor, antara lain,untuk memastikan stabilitas dan keamanan pasokan gas.
Klep Gas:Katup gas digunakan untuk mengontrol aliran gas dan untuk menutup saluran gas. Mereka biasanya memiliki fungsi on/off yang membuka atau menutup aliran gas.termasuk katup manual, katup listrik dan katup pneumatik. Mereka banyak digunakan dalam sistem gas untuk mengontrol aliran, tekanan dan aliran gas.
Pengukur tekanan gas:Pengukur tekanan gas digunakan untuk mengukur tingkat tekanan gas.Mereka biasanya dipasang di lokasi kritis dalam sistem gas untuk memantau perubahan tekanan dan memastikan bahwa mereka berada dalam batas amanPengukur tekanan gas banyak digunakan di industri, manufaktur dan laboratorium, dan industri semikonduktor juga telah terlibat.
Detektor kebocoran gas:Detektor kebocoran gas digunakan untuk mendeteksi kebocoran di sistem gas. Mereka mendeteksi keberadaan kebocoran gas dan membunyikan alarm sehingga tindakan tepat waktu dapat diambil untuk mencegah kecelakaan kebocoran.Detektor kebocoran gas banyak digunakan di industri, aplikasi kimia, minyak dan gas, dan industri semikonduktor juga telah terlibat.
