Keahlian Mendalam dalam Sistem Gas Khusus untuk Peralatan Tungku Semikonduktor

Sebagai landasan dari sektor teknologi tinggi, industri semikonduktor bergantung pada peralatan presisidan tungku deposisi lapisan SiC/TaC sangat penting untuk persiapan bahan dan kemasan perangkatStabilitas dan presisi sistem ini sangat bergantung pada pengiriman gas khusus kemurnian ultra tinggi.memberikan solusi distribusi dan pasokan gas yang disesuaikan untuk setiap jenis tungku.

01Tungku vakum pertumbuhan kristal

Pertumbuhan kristal membutuhkan kemurnian gas yang luar biasa. bahkan jejak kotoran dapat menyebabkan cacat. sistem Wofly menggunakan pipa SS 316L cair vakum ganda (kelas EP / BA,Ra ≤ 10 μin) untuk meminimalkan adsorpsi partikelSemua manufaktur dilakukan di lingkungan kamar bersih oleh personel yang mengenakan pakaian kamar bersih penuh.dan pemurnian nitrogen dengan kemurnian tinggiPengelasan TIG autogenik orbital di bawah pelindung argon memastikan sendi bebas kebocoran, bebas kontaminasi.Pengatur aliran massa presisi tinggi dengan pengaturan tekanan cerdas dan unit pemurnian gas terintegrasi mempertahankan kemurnian yang sangat tinggi yang diperlukan untuk pertumbuhan kristal yang konsisten.

02CVI Tungku Pengendapan Uap

Bekerja pada suhu hingga 2.100 °C, CVI tungku membutuhkan stabilitas aliran gas yang luar biasa dan keseragaman.Wofly merancang sistem pipa tahan korosi dengan baja karbon (dilapisi bubuk) atau baja tahan karat , bergerigi, dan diobati anti korosi. rute gas terintegrasi mempersingkat jalur pengiriman dan mengurangi waktu tinggal,sementara sistem kontrol aliran presisi secara akurat mengatur prekursor seperti propilen dan metana untuk mencocokkan kurva proses CVI yang kompleksSemua segel menggunakan gasket stainless steel atau nikel. Gasket non-logam sangat dilarang.

03Tungku Deposisi Lapisan SiC & TaC

Tungku-tungku ini beroperasi pada suhu 1.500~2.000 °C dengan gas prekursor agresif termasuk hafnium tetrachloride, tantalum pentachloride, dan metana.Wofly menggunakan pipa SS 316L kelas EP dengan aksesoris segel wajah VCR logam untuk menghilangkan ruang mati dan memungkinkan pembersihan pembersihan menyeluruhUnit penguapan khusus menangani prekursor bubuk (TaCl5, HfCl4) dengan kontrol rasio cerdas untuk pencocokan aliran metana/hidrogen yang tepat (misalnya, CH4 180 ml/menit, H2 900 ml/menit).Sistem deteksi gas GDS terintegrasi dengan koneksi tanggap darurat menyediakan pemantauan keamanan secara real time.

Layanan One-Stop Lifecycle Layanan Wofly mencakup seluruh siklus hidup proyek: survei situs dan analisis proses, desain sistem kustom, prefabrikasi (max 12 m bagian las,didukung setiap 3 m selama transportasi), instalasi di lokasi, pengujian tekanan/bocor/partikel/kesucian, dan kalibrasi dan pemeliharaan yang berkelanjutan.

Seiring kemajuan teknologi semikonduktor, Wofly tetap berkomitmen untuk solusi gas khusus kelas cerdas dan presisi membantu pelanggan di seluruh dunia mencapai lebih aman, lebih dapat diandalkandan operasi tungku berkinerja lebih tinggi.