Seiring pertumbuhan pasar semikonduktor, standar kemurnian dan akurasi menjadi lebih ketat.Salah satu faktor penentu kualitas pembuatan semikonduktor adalah gas yang digunakan dalam prosesGas-gas ini memainkan banyak peran dalam proses manufaktur, termasuk:
Kontrol proses presisi
Pencegahan kontaminasi
Peningkatan sifat metalurgi
Untuk melaksanakan peran ini secara efektif, sistem pasokan dan distribusi gas harus efisien.Desain sistem penanganan gas yang digunakan dalam pembuatan semikonduktor harus didukung oleh komponen yang kuat dan perakitan yang disesuaikan untuk memastikan produksi semikonduktor yang andal dan berkualitas tinggi.
Gas yang digunakan dalam pembuatan semikonduktor
Proses pembuatan semikonduktor membutuhkan penggunaan gas yang berbeda pada tahap yang berbeda dari proses.
Sementara gas umum seperti nitrogen, hidrogen, argon dan helium dapat digunakan dalam bentuk murni mereka, proses tertentu mungkin memerlukan campuran khusus.Halogenida dan hidrokarbon adalah beberapa gas khusus yang digunakan dalam pembuatan semikonduktorBanyak dari gas ini dapat berbahaya atau sangat reaktif, menciptakan tantangan dalam pemilihan dan desain komponen untuk sistem gas.
Berikut beberapa contohnya:
Hidrogen dan helium dapat dengan mudah bocor dari sistem pipa dan pemasangan karena ukuran atom dan beratnya yang kecil.
Silanes sangat mudah terbakar dan dapat terbakar spontan (autoignite) di udara.
Difluorida nitrogen yang digunakan dalam tahap deposisi, etching dan pembersihan ruang menjadi gas rumah kaca yang kuat ketika bocor ke lingkungan.
Fluorida hidrogen (gas mengikis) sangat korosif pada pipa logam.
Trimethylgallium dan amonia dapat sulit ditangani - fluktuasi kecil dalam persyaratan suhu dan tekanan mereka dapat mempengaruhi proses deposisi.
Mengontrol kondisi proses untuk meminimalkan efek negatif dari gas-gas ini harus menjadi prioritas utama selama desain sistem.Sama pentingnya untuk menggunakan komponen berkualitas tinggi seperti katup diafragma AFK selama proses pembuatan.
Mengatasi Tantangan Desain Sistem
Gas kelas semikonduktor dalam kebanyakan kasus memiliki kemurnian tinggi dan memberikan kondisi inert atau meningkatkan reaksi pada tahap yang berbeda dari proses manufaktur, seperti gas etch dan deposisi.Kebocoran atau kontaminasi gas tersebut dapat memiliki efek negatifOleh karena itu, it is critical for the system components used to be hermetically sealed and corrosion resistant as well as have a smooth surface finish (electrolytic polishing) to ensure that there is no possibility of contamination and that an extremely high level of cleanliness can be maintained.
Selain itu, beberapa gas ini dapat dipanaskan atau didinginkan untuk mencapai kondisi proses yang diinginkan.yang penting untuk kinerja produk akhir yang efisien.
Dari sumber masuk ke titik penggunaan, berbagai komponen AFK mendukung kemurnian ultra tinggi, suhu,kontrol tekanan dan aliran yang diperlukan di ruang bersih semikonduktor dan ruang vakum.
Sistem yang dirancang dengan komponen berkualitas dalam Pabrik Semikonduktor
Peran komponen berkualitas dan pengoptimalan desain sangat penting untuk kontrol yang tepat dan pembuatan semikonduktor yang aman.Komponen yang digunakan harus kokoh dan bebas kebocoran agar sesuai dengan kondisi proses yang berbeda yang diperlukan pada tahap manufaktur yang berbeda. AFK katup berkualitas tinggi, fittings, regulator, pipa, dan segel bracket ditandai dengan fitur berikut:
Ultra tinggi kemurnian
Segel bebas kebocoran
Isolasi terkontrol suhu
Kontrol tekanan
Ketahanan korosi
Pengolahan polesan elektrolitik