Kotak Distribusi Manifold Katup Wofly Technology VMB untuk Aplikasi Silan

Kotak Distribusi Perakitan Katup VMB untuk Silan

Jaminan Ganda Keamanan dan Ketepatan dalam Distribusi Gas Khusus Berisiko Tinggi

01 Fungsi Inti

Distribusi Multi-Jalur Sumber Tunggal, Kontrol Cabang Independen

Peralatan tersebut dapat membagi pasokan gas silan tunggal dari kabinet gas khusus hulu menjadi beberapa cabang pasokan independen, sekaligus memasok gas ke beberapa unit proses, dan mendukung penyesuaian cabang sesuai kebutuhan. Setiap cabang dilengkapi dengan katup on/off independen dan unit pemantauan tekanan, yang memungkinkan kontrol terpisah terhadap aliran gas dan penghentian untuk pemeliharaan. Pemeliharaan pada satu cabang tidak mengganggu pasokan gas normal ke cabang lain, sehingga meminimalkan risiko downtime lini produksi.

Pembersihan Inert dan Penggantian Vakum untuk Memastikan Keamanan Operasional

Sistem ini dilengkapi saluran pembersih nitrogen dengan kemurnian tinggi (PN₂) dan saluran ekstraksi vakum. Sebelum pemeliharaan cabang, penyalaan atau penghentian peralatan, atau pembongkaran dan pemasangan kembali pipa, pipa target dapat menjalani proses pembersihan gas inert dan penggantian vakum secara menyeluruh, membersihkan sisa gas silan dari saluran secara menyeluruh dan mencegah pembakaran spontan yang disebabkan oleh kontak silan dengan udara setelah katup dibuka. Hal ini sepenuhnya sesuai dengan persyaratan operasi keselamatan untuk sistem silan yang diuraikan dalam Standar Teknis Teknik untuk Sistem Gas Khusus.

Pipa Baja Tahan Karat Kelas 316LEP

Pemantauan Tekanan Waktu Nyata dan Peringatan Interlock Kondisi Tidak Normal

Setiap jalur cabang dilengkapi dengan pengukur tekanan presisi tinggi dan sensor tekanan yang menampilkan kondisi tekanan real-time di saluran masuk dan keluar, serta mendukung konfigurasi alarm batas tekanan atas dan bawah. Dikombinasikan dengan katup pemutus darurat pneumatik, sistem ini dapat dengan cepat memutus jalur cabang yang bersangkutan—atau bahkan pasokan gas utama—setelah mendeteksi risiko seperti tekanan abnormal atau kebocoran gas. Teknologi ini memicu alarm suara dan visual serta terintegrasi dengan sistem kendali pusat pabrik untuk mencapai respons darurat tingkat milidetik.

Perlindungan Tersegel Tekanan Negatif, Pengendalian Kebocoran Terpusat

Sistem ini menggunakan struktur kabinet yang tertutup sepenuhnya, dilengkapi lubang pembuangan atas dan kisi-kisi masuk bawah, untuk menjaga kestabilan tekanan negatif di dalam kabinet selama pengoperasian. Bahkan jika terjadi sedikit kebocoran, gas silan disimpan di dalam kabinet dan diekstraksi secara terpusat melalui sistem pembuangan ke unit pengolahan gas buang, sehingga mencegah gas yang bocor menyebar ke bengkel produksi dan menghilangkan risiko pembakaran spontan dan keracunan di tingkat spasial.

02 Fitur Inti

Desain Keselamatan Khusus untuk Gas Berisiko Tinggi

Dioptimalkan secara khusus untuk sifat penyalaan dan ledakan silan, sistem ini dapat dilengkapi dengan detektor gas silan internal dan perangkat pendeteksi api. Semua komponen kelistrikan memenuhi spesifikasi tahan ledakan, dan mekanisme interlock pengaman multi-lapis sepenuhnya mematuhi standar kontrol untuk gas khusus berisiko tinggi, jauh melebihi tingkat keamanan VMB gas inert standar.

Pasokan Gas Kemurnian Tinggi Tingkat Elektronik

Semua komponen aliran terbuat dari baja tahan karat kelas SS316L EP dengan permukaan bagian dalam yang dipoles secara elektrolitik. Perpipaan dibuat menggunakan proses pengelasan track yang sepenuhnya otomatis, memastikan tidak ada sudut mati dan tidak ada pelepasan partikel. Katup menjalani pengujian kebocoran helium dengan tingkat kebocoran ≤1×10⁻⁹ atm・cc/s, yang menjamin kemurnian gas silan tetap tanpa kompromi selama proses berlangsung dan memenuhi persyaratan proses manufaktur dengan presisi tinggi.

Desain Lantai Berdiri Menawarkan Kemampuan Beradaptasi Unggul

Desain braket yang berdiri di lantai memberikan kapasitas menahan beban yang lebih besar dan menghilangkan kebutuhan pemasangan di dinding. VMB ini dapat diposisikan secara fleksibel di berbagai pengaturan, seperti di sekitar ruang bersih atau di sepanjang koridor gas khusus, sehingga lebih mudah beradaptasi dengan tata letak lini produksi yang rumit dibandingkan dengan VMB yang dipasang di dinding.

Katup Internal VMB / Katup Diafragma / Pengukur Tekanan

03 Skenario Aplikasi Inti

Manufaktur Wafer Semikonduktor

Kompatibel dengan proses deposisi film tipis seperti PECVD, LPCVD, dan ALD di lini produksi wafer, sistem ini secara tepat mendistribusikan gas silan ke beberapa perangkat pelapis, memastikan stabilitas proses untuk deposisi film silikon nitrida dan silikon oksida. Ini juga memenuhi persyaratan kontrol keselamatan untuk gas berisiko tinggi di ruang bersih, menjadikannya konfigurasi standar untuk distribusi sekunder gas khusus di pabrik wafer.

Produksi Sel Fotovoltaik

Banyak digunakan dalam lini produksi sel berefisiensi tinggi seperti TOPCon, HJT, dan heterojunction, sistem ini memungkinkan distribusi gas silan ke beberapa mesin selama deposisi film tipis berbasis silikon dan proses doping. Ini memenuhi permintaan pasokan gas berkelanjutan dari jalur produksi fotovoltaik berkapasitas tinggi sekaligus memberikan fleksibilitas untuk retrofit dan perluasan jalur, sehingga membantu mengurangi biaya dan meningkatkan efisiensi.

-VMB-

Tampilan Generasi Berikutnya dan Manufaktur Optoelektronik

Melayani lini produksi panel layar TFT-LCD, AMOLED, dan Mini/Micro LED, serta bidang-bidang seperti preforms serat optik dan semikonduktor majemuk, kami menyediakan penyaluran dan pengiriman silan yang stabil dan dapat dikontrol untuk deposisi film tipis dan proses etsa, disesuaikan dengan tata letak pasokan gas multi-mesin berskala besar pada lini produksi generasi tinggi.

Lembaga Penelitian dan Laboratorium Pengujian

Menyediakan solusi distribusi silan skala kecil untuk R&D material dan platform validasi proses di laboratorium universitas dan lembaga penelitian, menyeimbangkan keselamatan operasional dengan presisi pasokan gas untuk memenuhi kebutuhan aplikasi gas eksperimental multi-kondisi dalam jumlah kecil.

Keuntungan dari sangat burukProduk dan Layanan Teknologi

1. Litbang dan Manufaktur In-house, dengan Kemampuan Kustomisasi yang Luar Biasa

Sebagai perusahaan teknologi tinggi tingkat nasional dan perusahaan “Khusus, Halus, Khas, dan Inovatif”, Wofly Technology memiliki kemampuan R&D dan manufaktur yang independen. Perusahaan ini telah mendirikan basis produksinya sendiri seluas 8.000 meter persegi, lengkap dengan bengkel perakitan ruang bersih Kelas 100 dan Kelas 1.000. Seluruh proses produksi untuk rangkaian produk VMB lengkap—mulai dari desain solusi dan perakitan katup hingga pengujian dan pengiriman—diselesaikan sendiri. Produk dapat sepenuhnya disesuaikan untuk memenuhi kebutuhan spesifik pelanggan mengenai jumlah saluran keluar gas, parameter tekanan, mode kontrol, dan skenario pemasangan, memenuhi kebutuhan lini produksi di berbagai industri dan skala berbeda.

Tampilan Internal VMB yang Dirancang Khusus untuk Silan

2. Kualifikasi Lengkap dan Jaminan Kepatuhan

Perusahaan memiliki kualifikasi kontraktor khusus untuk proyek instalasi mekanik dan listrik bangunan, kualifikasi GC2 untuk desain dan pemasangan pipa bertekanan, dan Izin Keselamatan Kerja. Produk kami telah memperoleh berbagai sertifikasi, termasuk CE dan ISO 9001. Desain dan manufaktur secara ketat mematuhi standar nasional untuk teknik gas khusus, seperti GB 50646. Semua peralatan menjalani pengujian kebocoran helium yang komprehensif dan pengujian fungsional sebelum meninggalkan pabrik, untuk memastikan peralatan tersebut siap untuk pengoperasian yang sesuai pada saat pengiriman.

Tursangat burukRuang Bersih Kelas 1.000 Teknologi

3. Pelayanan Terpadu di Seluruh Rantai Industri

Lebih dari sekadar pasokan peralatan individual, Teknologi Wofly menyediakan solusi komprehensif dan terpadu yang mencakup seluruh proses—mulai dari perencanaan pompa bensin khusus, pemasangan pipa utama, dan tata letak simpul distribusi VMB hingga perpipaan sekunder titik akhir. Solusi ini mencakup seluruh siklus hidup, termasuk konsultasi teknis, desain sistem, prefabrikasi dan instalasi, pengujian dan penerimaan, serta pelatihan pengoperasian dan pemeliharaan. Pelanggan tidak perlu berkoordinasi dengan banyak pemasok, sehingga secara signifikan mengurangi biaya komunikasi dan manajemen proyek.

Tampilan Internal VMB yang Dirancang Khusus untuk Silan

4. Keahlian Industri Lebih dari Satu Dekade dan Pengalaman Implementasi yang Luas

Dengan keahlian mendalam selama lebih dari satu dekade di bidang gas khusus untuk industri elektronik, layanan kami mencakup berbagai sektor termasuk semikonduktor, fotovoltaik, biofarmasi, dan lembaga penelitian. Kami telah berhasil mengimplementasikan ratusan proyek rekayasa sistem gas khusus. Tim inti kami memiliki pengalaman luas dalam desain dan konstruksi sistem gas khusus berisiko tinggi, memungkinkan kami merespons kebutuhan pelanggan dengan cepat dan memberikan solusi optimal yang disesuaikan dengan kondisi pengoperasian sebenarnya.

sangat burukPameran Teknologi VMB dan Kabinet Gas Khusus

Sebagai “pusat titik akhir” sistem gas khusus elektronik, VMB khusus silan merupakan komponen penting dalam memastikan pasokan gas yang aman, stabil, dan dengan kemurnian tinggi ke jalur produksi. Wofly Technology akan terus memprioritaskan teknologi, secara berulang mengoptimalkan produknya untuk berbagai kondisi pengoperasian gas khusus yang berisiko tinggi guna menyediakan solusi sistem gas khusus yang lebih andal dan disesuaikan bagi industri manufaktur kelas atas.