WOFLY Meluncurkan Silane Valve Manifold Box (VMB) Keamanan Tinggi untuk Memberdayakan Manufaktur Semikonduktor dan PV

Shenzhen Wofly Technology Co., Ltd. (WOFLY), penyedia utama sistem pengiriman gas dengan kemurnian sangat tinggi, telah secara resmi meluncurkan Silane Valve Manifold Box (VMB) khusus. Direkayasa secara khusus untuk distribusi gas khusus yang berbahaya, sistem baru ini memberikan jaminan ganda atas keselamatan dan presisi untuk proses yang sangat penting dalam industri semikonduktor, fotovoltaik, dan optoelektronik.

Silane (SiH₄) adalah landasan manufaktur elektronik modern tetapi menimbulkan risiko ekstrim karena sifatnya yang piroforik dan mudah meledak. Seri VMB baru WOFLY mengatasi tantangan ini melalui kombinasi inovasi struktural dan kontrol keselamatan yang cerdas.

Distribusi Tingkat Lanjut & Kontrol Independen

VMB WOFLY dirancang untuk membagi satu sumber gas hulu menjadi beberapa cabang distribusi independen, memasok gas ke beberapa alat proses secara bersamaan. Setiap cabang dilengkapi dengan katup penutup independen dan unit pemantauan tekanan, yang memungkinkan pemeliharaan terisolasi dan pemecahan masalah tanpa mengganggu pengoperasian jalur produksi lainnya.

Fitur Keamanan Inti & Keunggulan Teknis

1. Sistem Pembersihan & Pemindahan Inert

Dilengkapi dengan saluran pembersih dan vakum Nitrogen (PN2) dengan kemurnian tinggi. Hal ini memastikan penghilangan sisa silan secara menyeluruh sebelum perawatan atau penggantian peralatan, dengan ketat mengikuti standar keselamatan untuk mencegah pembakaran spontan saat kontak dengan udara.

2. Pemantauan Waktu Nyata & Alarm Interlock

Sensor dan pengukur tekanan presisi tinggi yang terintegrasi memberikan respons tingkat milidetik. Sistem ini terhubung dengan katup penutup darurat pneumatik dan pusat kendali fasilitas, sehingga memicu isolasi segera jika anomali tekanan atau kebocoran terdeteksi.

3. Penutup Tekanan Negatif

Kabinet baja tahan karat 316L yang tertutup sepenuhnya mempertahankan tekanan negatif yang stabil. Jejak kebocoran apa pun dibatasi dan diekstraksi dengan aman melalui sistem pembuangan terpusat ke unit pengurangan, sehingga menghilangkan risiko terhadap lingkungan bengkel.

4. Kemurnian Kelas Elektronik

Semua komponen yang dibasahi terbuat dari baja tahan karat kelas SS316L EP (Electropolished). Memanfaatkan pengelasan orbital otomatis, sistem ini memastikan lingkungan yang bersih dan bebas partikel dengan laju kebocoran helium ≤ 1×10⁻⁹ atm·cc/s, menjaga integritas gas dengan kemurnian tinggi.

Aplikasi Industri yang Luas

Fleksibilitas dan desain kokoh dari WOFLY Silane VMB menjadikannya konfigurasi standar untuk:

- Pabrikan Wafer Semikonduktor:Penting untuk proses deposisi film tipis seperti PECVD, LPCVD, dan ALD.

- Produksi Sel Fotovoltaik:Banyak digunakan dalam lini sel efisiensi tinggi seperti TOPCon dan HJT untuk deposisi film berbasis silikon.

- Manufaktur Tampilan Tingkat Lanjut:Mendukung produksi TFT-LCD, AMOLED, dan Mini/Micro LED.

- Penelitian & Lab:Menyediakan distribusi skala kecil dan tepat untuk penelitian dan pengembangan material serta verifikasi proses.

“Keamanan dan kemurnian tidak dapat dinegosiasikan dalam penanganan gas khusus,” kata Direktur Teknis di WOFLY. "VMB Silane baru kami bukan sekadar kotak distribusi; namun merupakan pelindung keselamatan komprehensif yang memungkinkan klien kami meningkatkan produksi mereka dengan penuh keyakinan."

Untuk rincian lebih lanjut tentang Silane VMB atau untuk menjelajahi rangkaian lengkap solusi penanganan gas kami, silakan kunjungi situs web kami diwww.szwofly.comatau hubungi kami di info@szwofly.com.

Tentang WOFLY

Shenzhen Wofly Technology Co., Ltd. (AFK/WOFLY) adalah produsen khusus dan perusahaan teknik yang berfokus pada sistem pengiriman gas dengan kemurnian tinggi. Dengan keahlian lebih dari satu dekade, WOFLY melayani industri teknologi tinggi global dengan regulator presisi tinggi, VMB, lemari gas, dan solusi perpipaan terintegrasi.