Peralatan Perawatan Gas Ekor Adsorpsi WFS-100A
Jenis gas yang dapat diolah oleh perangkat pengolahan gas ekor scrubbing termasuk gas elektronik yang digunakan dalam proses etsa dan proses deposisi uap kimia di industri semikonduktor, kristal cair dan surya, terutama termasuk SiH4, SiH2Cl2, PH3, B2H6, TEOS, H2, Co, NF3, SF6, C2F6, wf6, NH3, N2O, dll.
| Parameter Produk |
| 1 |
Model Mesin |
WFS-100A |
| 2 |
Jenis Scrubbing (Jenis prinsip perawatan gas) |
adsorpsi kimia |
| 3 |
Kapasitas (Aliran pemrosesan gas maksimum) |
120SLM |
| 4 |
Dimensi (mm) Ukuran mesin |
1040(L)*700(W)*1850(H) |
| 5 |
kekuasaan |
1Ψ, 220V 50/60HZ 15A |
| 6 |
GN2 (nitrogen) |
Pemasangan Swagelok 3/8",5~6kg/cm2 (80psi),30~50L/m |
| 7 |
saluran masuk sistem |
ISO-100(tabung 4”) |
| 8 |
Outlet sistem |
ISO-100(tabung 4”) |
| 9 |
Vent (Dimensi lubang pembuangan rongga mesin) |
4 "tabung, 100CFM |
| Jenis gas yang akan diolah |
| produk |
Jenis gas |
| Gas asam |
AC-seri |
BF3,HF,F2,WF+,SiF4.dll |
| Gas yang mengandung hidrida atau logam |
HM-seri |
PH3, AsH3, GeF4, B2H6, dll |
| Gas terhalogenasi |
seri BA |
NH3,Na(OH),dll |
| Gas nitrida |
NT-seri |
NH3,TDMAT,HCW,N2O,NO,NO2,Nox,dll |
| Gas organik |
OC-seri |
SiH4, DCS, TCS, TEOS, DEZ, PGMEA, dll |
| Gas sulfida |
SL-seri |
H2S, H2Se, SO2, dll |
Kasus Proyek
Pengemasan diperlukan untuk proses pembuatan chip elektronik semikonduktor, dan teknologi pengemasan sangat penting untuk sirkuit terpadu.Selain peralatan produksi yang maju, jalur produksi, peralatan pasokan gas yang stabil dan aman juga penting.Peralatan pengemasan di industri semikonduktor akan menggunakan gas setelah pencocokan.Hanya dengan memastikan akurasi konsentrasi gas dan akurasi pencocokan, stabilitas kualitas pengemasan dapat dijamin, dan pasokan gas pencocokan berkelanjutan juga merupakan kondisi yang diperlukan untuk pengemasan.
FAQ
1. siapa kita?
Kami berbasis di Guangdong, Cina, mulai dari 2011, menjual ke Asia Tenggara (20,00%), Afrika (20,00%), Asia Timur (10,00%), Timur Tengah (10,00%), Pasar Domestik (5,00%), Asia Selatan (5,00%), Eropa Utara (5,00%), Amerika Tengah (5,00%), Eropa Barat (5,00%), Amerika Selatan (5,00%), Eropa Timur (5,00%), Amerika Utara (5,00%).Ada total sekitar 51-100 orang di kantor kami.
2. bagaimana kami bisa menjamin kualitas?
Selalu sampel pra-produksi sebelum produksi massal;
Selalu Inspeksi akhir sebelum pengiriman;
3. apa yang bisa Anda beli dari kami?
pengatur tekanan, alat kelengkapan tabung, katup solenoid, katup jarum, katup periksa
4. mengapa Anda harus membeli dari kami bukan dari pemasok lain?
Kami memiliki beberapa tahun dengan insinyur profesional dan teknisi yang berdedikasi. Dapat menyediakan produk keamanan untuk Anda
5. layanan apa yang bisa kami berikan?
Ketentuan Pengiriman yang Diterima: FOB, CIF, EXW；
Mata Uang Pembayaran yang Diterima: USD, CNY;
Jenis Pembayaran yang Diterima: T/T,L/C,Western Union;
Bahasa yang digunakan: Inggris, Cina
Pesan Anda harus antara 20-3.000 karakter!
